% sputtered energy : D -> C % z1= 1, m1= 2.01, z2= 6, m2= 12.01, sbe=7.41 eV, rho=1.85 g/cm**3 % ef=0.98 eV, esb=1.00 eV, ca=1.00, kk0=kk0r=2, kdee1=kdee2=3, ipot=ipotr=1 (KrC) % program : trvmc % ne=12, na= 9 % % e0 0 15 30 45 55 65 75 80 85 % 30 3.32E-6 4.76E-6 8.71E-6 1.27E-5 1.21E-5 6.80E-6 1.71E-6 6.29E-7 2.24E-7 33 9.15e-6 2.31e-5 40 3.58E-5 5.17E-5 8.06E-5 1.26E-4 1.81E-4 1.54E-4 6.87E-5 2.90E-5 8.69E-6 50 1.18E-4 1.50E-4 2.19E-4 3.60E-4 5.08E-4 5.70E-4 4.41E-4 1.95E-4 5.31E-5 70 3.26E-4 3.50E-4 5.33E-4 9.23E-4 1.38E-3 2.05E-3 2.04E-3 1.10E-3 2.26E-4 100 5.27E-4 5.96E-4 8.80E-4 1.50E-3 2.56E-3 4.29E-3 5.49E-3 3.55E-3 5.71E-4 140 6.77E-4 7.50E-4 1.09E-3 2.03E-3 3.31E-3 5.93E-3 8.75E-3 6.73E-3 1.14E-3 200 7.12E-4 8.00E-4 1.18E-3 2.19E-3 3.99E-3 6.60E-3 1.04E-2 9.95E-3 1.73E-3 300 6.56E-4 7.50E-4 1.12E-3 2.23E-3 3.84E-3 7.15E-3 1.15E-2 1.19E-2 3.08E-3 500 5.02E-4 5.80E-4 1.03E-3 1.87E-3 3.19E-3 5.90E-3 1.01E-2 1.26E-2 5.40E-3 1000 2.94E-4 3.70E-4 5.70E-4 1.17E-3 2.01E-3 3.61E-3 6.82E-3 9.28E-3 7.69E-3 2000 1.39e-4 6.56e-4 4.66e-3 5.72e-3 6.93e-3